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半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160

簡(jiǎn)要描述:

半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160:Edwards高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,可以按照工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。

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更新時(shí)間:2024-10-29

產(chǎn)品產(chǎn)地:上海

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半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160
品牌Edwards/英國(guó)愛德華輸送介質(zhì)其他
泵軸位置邊立式葉輪數(shù)目其他
應(yīng)用領(lǐng)域電子

半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160

Edwards高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽

命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了可靠性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供

了高可靠性。

功能和優(yōu)勢(shì):

優(yōu)化了設(shè)施消耗。

無(wú)需預(yù)防性維護(hù)。

懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。

在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。

耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

整體式軸桿無(wú)需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器,而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降

低了總體占地面積。

技術(shù)參數(shù):

極限真空1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr  / 1 Pa

進(jìn)氣口連接:ISO63

出口連接:NW40

重量:244 kg

極限功率輸入:3.1 kW

電機(jī)額定功率:5.0 kW

1、確認(rèn)問(wèn)題(如有需要,會(huì)在24小時(shí)內(nèi)派出專業(yè)技術(shù)人員趕赴現(xiàn)場(chǎng)確認(rèn)真空泵故障)

2、故障原因(比其爾確認(rèn)故障原因后,擬定出具體維修方案與周期、甲乙兩方簽定協(xié)議后,甲方

安排人員上門提泵,針對(duì)珠三角地區(qū)客戶)

3、真空泵拆開報(bào)價(jià)(為了讓客戶更清晰的知道維修費(fèi)用,比其爾會(huì)給出詳細(xì)的維修清單及費(fèi)用)

4、確認(rèn)維修(客戶同意維修費(fèi)用后開始維修,維修配件為原裝正品,維修后所換配件全部還客

戶)

5、試機(jī)確認(rèn)(確保維修過(guò)后達(dá)到的真空度和穩(wěn)定性能,真空度達(dá)到出廠標(biāo)準(zhǔn))

6、送泵安裝(在試機(jī)OK后24小時(shí)內(nèi),客戶可當(dāng)初驗(yàn)收真空泵,看試機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)效果)

7、定期回訪(比其爾承諾,維修保修服務(wù);統(tǒng)一質(zhì)保修6個(gè)月)

半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160

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